[눈길 끄는 연구] 나노미터급 소자 내부도 들여다보는 현미경 기술 등
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과학 이야기
나노미터급 소자 내부도 들여다보는 현미경 기술
이은성 한국표준과학연구원 나노구조측정센터 책임연구원이 나노미터(㎚) 크기의 소자 내부를 들여다볼 수 있는 현미경 기술을 개발했다. 현미경의 탐침과 시료 사이에 레이저를 쏴 근접장이라는 강한 빛을 만들어 내는 게 기술의 핵심이다. 시료 내부에 빈 공간이 있으면 근접장도 영향을 받아 탐침에 미세한 힘이 발생한다. 이를 측정해 시료의 상태를 밝힌다. 측정 가능한 범위는 150㎚이며 시료 내부를 영상 형태로 보여준다. 이 기술은 반도체업계에서 유용하게 쓰일 전망이다. 반도체 내부에 생기는 기포인 공극을 찾아낼 수 있어서다. 공극은 반도체 공정의 수율을 결정하는 중요한 요인 중 하나다.
아이 性조숙증 진단…채혈 대신 호르몬으로 측정
이효진 이관희 한국과학기술연구원(KIST) 책임연구원이 새로운 성조숙증 진단 기술을 선보였다. 어린이 소변에 극미량 존재하는 성호르몬을 측정하는 방식이다. 진단을 위해 여러 번 채혈해야 했던 불편함을 없앴다. 호르몬에 반응하는 항체와 나노물질을 소변에 주입하는 게 핵심이다. 나노물질은 항체 신호를 1만 배가량 증폭해 준다. 이렇게 되면 바코드로 상품의 정보를 읽어내는 것처럼 여성 호르몬 에스트라디올과 남성 호르몬 테스토스테론의 양을 쉽게 측정할 수 있다.
"통신 지연현상 최소화"…UNIST '엑셀' 공개
이경한 UNIST(울산과학기술원) 전기전자컴퓨터공학부 교수가 통신 지연 현상을 줄일 수 있는 전송 프로토콜인 엑셀(ExLL)을 공개했다. 저지연 전송 프로토콜은 네트워크 상황을 파악해 데이터 전송량을 유연하게 조절하는 기술이다. 데이터 통신 속도를 안정적으로 유지할 수 있게 해 준다. 이 교수는 단말기가 수신하는 패킷들의 패턴을 관찰해 이동통신망의 대역폭을 추론하게 했다. 이를 기반으로 데이터 전송량을 서버가 제어하도록 프로토콜을 설계했다. 엑셀은 원격 수술과 드론 제어, 5세대 이동통신(5G) 기반 자율주행 등에 활용될 전망이다.
이은성 한국표준과학연구원 나노구조측정센터 책임연구원이 나노미터(㎚) 크기의 소자 내부를 들여다볼 수 있는 현미경 기술을 개발했다. 현미경의 탐침과 시료 사이에 레이저를 쏴 근접장이라는 강한 빛을 만들어 내는 게 기술의 핵심이다. 시료 내부에 빈 공간이 있으면 근접장도 영향을 받아 탐침에 미세한 힘이 발생한다. 이를 측정해 시료의 상태를 밝힌다. 측정 가능한 범위는 150㎚이며 시료 내부를 영상 형태로 보여준다. 이 기술은 반도체업계에서 유용하게 쓰일 전망이다. 반도체 내부에 생기는 기포인 공극을 찾아낼 수 있어서다. 공극은 반도체 공정의 수율을 결정하는 중요한 요인 중 하나다.
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