“상대적으로 난도가 높은 가스 형태의 고순도 불화수소(에칭가스)도 국산화가 가능할 전망입니다.”
솔브레인 "순도 99.999% 이상 기체 불화수소 공급 가능"
박영수 솔브레인 중앙연구소장(부사장)은 8일 “순도 99.999% 이상의 고순도 불화수소도 공급 가능하다”며 이같이 말했다. 그는 “가스 운반 및 보관에 필요한 용기를 확보해야 하지만 큰 문제는 아니라고 보고 있다”고 덧붙였다. 일본이 한국으로의 수출을 규제하고 있는 고순도 불화수소는 반도체 공정에서 불순물을 제거하는 세정 작업과 회로를 남기고 나머지 부분을 깎아내는 식각 작업에 널리 쓰인다.

솔브레인은 삼성전자와 SK하이닉스 등에 ‘액체’ 형태의 고순도 불화수소를 공급한다. 지난해 매출 9634억원, 영업이익 1641억원을 올렸다. 매출의 절반 정도를 고순도 불화수소를 포함한 식각액에서 내고 있다. 액체 형태의 고순도 불화수소는 국산화가 어느 정도 이뤄졌지만, 기체 형태의 제품은 일본 의존도가 높다.

솔브레인은 그동안 고순도 불화수소를 이원화해 생산해 왔다. 전체 생산량의 약 70%는 일본 스텔라로부터 고순도 불화수소를 수입한 뒤 첨가제 등을 섞어 삼성전자가 원하는 조건에 맞게 ‘맞춤형 제품’을 제공했다. 나머지 30% 정도는 중국에서 원재료(무수불산)를 들여와 순도를 높이는 정제 작업을 거쳐 납품한다.

솔브레인의 충남 공주 공장은 현재 완전 가동 상태다. 일본의 경제 보복 이후 삼성전자 등 고객사에서 물량을 더 달라고 요청했지만 제공할 수가 없었다. 하지만 정부가 인허가 절차 등을 대폭 완화해 주면서 지난해 착공한 제2공장을 다음달 조기 완공하게 됐다. 박 부사장은 “2공장이 가동에 들어가면 삼성전자 등 고객사의 부족분을 충분히 공급할 수 있을 것”이라고 내다봤다. 그는 “2공장에서 생산한 제품의 품질을 얼마나 빨리 안정화하느냐가 남은 과제”라고 설명했다.

고재연 기자 yeon@hankyung.com