삼성전자와 SK하이닉스가 반도체 EUV(극자외선)용 포토레지스트(감광액) 개발 전문 스타트업에 함께 투자했다.

21일 업계에 따르면 삼성전자 자회사인 삼성벤처투자와 SK하이닉스는 감광액 전문 업체 인프리아에 총 3100만달러(약 374억원)를 투자하기로 했다. 삼성전자가 인프리아에 투자한 것은 2014년(470만달러)과 2017년(2350만달러)에 이어 세 번째다. SK하이닉스는 지난해 8월 인프리아가 발행한 전환사채(CB)에 12억원가량을 투입한 데 이어 이번이 두 번째다.

인프리아는 금속 산화물로 감광액을 만들어 빛의 흡수율을 기존보다 네 배 이상 높인 제품을 생산하는 것으로 알려져 있다. 삼성전자는 인프리아를 통해 감광액을 원활하게 공급받기 위해 이번 투자에 나선 것으로 알려졌다. 인프리아 투자에는 반도체 수탁생산(파운드리)업계 1위인 TSMC를 비롯해 어플라이드벤처스, 인텔캐피털 등 반도체 생태계를 이끄는 주요 해외 기업도 함께했다.

인프리아는 EUV 공정의 필수 소재인 포토레지스트를 전문적으로 생산하고 있다. 2017년에 7㎚(1㎚=10억분의 1m) 공정 이하 미세공정에서 EUV 노광 공정을 지원할 수 있는 전용 솔루션을 개발했다.

정인설 기자 surisuri@hankyung.com