예스티, 차세대 고압 어닐링 장비 개발…한양대·포스텍 연구진과 협력

반도체 장비 전문기업 예스티가 정부의 차세대 고압 어닐링 장비 개발 국책과제에 단독으로 선정됐다. 예스티는 향후 세계 최고 수준의 개발 기관과 함께 개발에 속도를 낸다는 계획이다.

예스티는 '지능형 반도체 기술개발 사업'과 관련해 포항공대(포스텍), 한양대 연구진과 차세대 반도체 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 진행한다고 3일 밝혔다. 예스티와 공동으로 국책과제를 진행하는 포스텍과 한양대 연구진은 다수의 반도체·고압 어닐링 분야에서 우수한 연구 실적을 보유한 전문가들이다.

포스텍 연구책임자인 이병훈 포스텍 반도체공학과 주임교수는 2007년 세계 최초로 고압 수소 열처리 장비를 상용화해 미국 정보통신 기업 IBM의 표준 공정에 도입한 인물이다.

한양대 연구책임자를 맡은 박창균 한양대 신소재공학과 BK연구교수는 국내 대표 반도체 장비 기업인 '주성엔지니어링'에서 15년간 근무하며 부사장(반도체 개발 그룹장)을 역임했다. 그는 반도체와 디스플레이 관련 특허 124건을 보유하고 있으며, 다수의 국책과제를 수행한 경험도 있다.

예스티는 이들 반도체 전문가와 차세대 고압 어닐링 장비의 특성평가 및 공정 검증을 진행한다. 장비의 양산성 검증 외에도 신규 응용 분야를 발굴하는 것이 회사의 목표다.

예스티 관계자는 "이번 국책과제를 통해 고압 어닐링 관련 기술을 더욱 고도화하는 것은 물론 적용 공정을 확대하는 것에 주력할 것"이라며 "반도체 분야 최고 연구진들과 정밀한 평가를 진행해 고생산성 고압 어닐링 장비를 개발하겠다"고 말했다. 이어 "이와 별도로 예스티는 연내 공급을 목표로 고압 어닐링 장비의 공정 적용 평가 단계인 베타 테스트도 자체적으로 준비하고 있어 반도체 장비 부문의 실적 성장이 가속화할 것"이라고 덧붙였다

신현아 한경닷컴 기자 sha0119@hankyung.com