세메스, OHT 장비 10000호기 출하…자동화 설비 다변화

반도체 장비업체 세메스가 국내 최초로 독자 개발한 반도체 물류자동화 핵심장비인 OHT(Overhead Hoist Transport) 양산 10,000호기 출하식을 가졌다고 29일 밝혔다.

OHT는 반도체 라인 천장에 설치된 고정 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 통(FOUP)을 각 공정장비로 옮기는 이송시스템이다.

이 장비는 그동안 일본의 업체로부터 전량 수입에 의존해 왔으나 지난 2011년 세메스가 오랜 연구개발 끝에 OHT 장비를 자체 개발했다. 현재 연간 수천억원의 수입대체 효과를 보고 있다.

OHT는 먼지와 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 이송하는 것이 특징이다.

세메스가 내년 상반기 선보일 차세대 OHT 장비는 세계 최고 수준으로 초당 직선으로 5m, 곡선에서 1m를 조용하게 먼지없이 움직일 수 있으며, 기존 대비 웨이퍼 적재시간 및 진동은 줄이고,
이송 하중은 늘려 반송효율을 30% 이상 크게 향상시켰다.

또한 첨단 소프트웨어 기술을 적용해 라인내 생산 물류 흐름을 최적화 시켰다고 덧붙였다.

정태경 대표는“OHT를 반도체 라인에 설치하려면 공정흐름 전반의 정보와 개별 설비 상태를 실시간으로 관리하며 최적의 생산시스템이 되도록 하는 것이 핵심이며, 이를 독자기술로 확보해 10,000호기까지 실적을 시현한 큰 성과”라고 말했다.

OHT는 반도체 자동화설비로 주로 이용되지만 다양한 일반 산업현장에서도 무인자동화 및 물류이동 효율화 방안으로 활용 가능해 향후 수요 확대가 예상된다.

세메스는 OHT 외에도 고층 타워 리프트, 모바일 로봇, 후공정 반송물(SSD Tray, Cassette, Tray) 자동화 스토커 시스템 구축을 통해 물류자동화 설비 제품군을 다변화하고 있다.

박의명 기자 uimyung@hankyung.com