정재학 씨엔원 대표, 반도체용 ALD 장비 국산화…해외시장 개척
정재학 씨엔원 대표(사진)는 반도체 전공정 장비인 원자층박막증착(ALD)를 국산화하고, 해외 시장을 개척하는 데 기여했다.

씨엔원 수출 금액은 2021년 172만달러, 2022년 83만달러에서 지난해엔 229만달러까지 폭발적으로 늘었다. 미국 어플라이드머티어리얼즈, 프랑스 에어리퀴드, 일본 아데카, 독일 머크 등 글로벌 반도체 장비 회사에 납품하고 있다. 최근엔 중국의 마이크로 유기발광다이오드(OLED) 전문 기업인 오라이텍에도 제품을 납품해 중국 시장 진입에도 성공했다. 국내 시장에서도 50% 이상의 점유율을 확보했다.

씨엔원이 글로벌 시장에서 두각을 드러낸 건 ALD 장비를 전량 해외 제품에 의존한 상황에서 지속적인 연구개발(R&D)로 자체 제품 개발에 성공한 덕분이다. 정 대표는 2008년 회사 설립 후 10년에 걸친 지속적인 연구개발 투자로 ALD 장비 국산화에 성공했다. ALD는 균일하고 순도 높은 박막을 저온에서 얻기 위해 개발된 반도체 공정 핵심 기술이다.

씨엔원은 여섯 종류의 ALD 장비를 개발, 론칭해 이와 관련된 핵심 특허를 획득해 경쟁력 있는 장비를 개발하는 데도 기여했다. 이를 통해 반도체뿐 아니라 디스플레이, 2차전지, 태양광 등 다양한 분야에 수출하고 있다.

2022년엔 3차원 구조물 ALD 증착 장비 개발을 통해 2차전지 양극재 코팅용 파일럿 장비를 미국에 수출하는 쾌거를 이뤘다.

김채연 기자 why29@hankyung.com