네덜란드 정부가 이르면 다음주 자국 반도체 생산장비업체 ASML의 심자외선(DUV) 노광장비 의 중국 수출을 제한하는 조치를 발표할 전망이다. 2019년 최첨단 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 수출하는 것을 막은 데 이어 구세대 장비 수출까지 규제하는 조치다.

22일(현지시간) 블룸버그통신은 소식통을 인용해 네덜란드 정부가 ASML의 일부 DUV 노광장비 수출을 통제하는 조처를 이르면 오는 30일 또는 다음 달 첫째 주 발표하는 것을 목표로 하고 있다고 보도했다. 네덜란드는 지난 1월 미국의 대(對)중 반도체 수출 통제에 합류하겠다고 밝히며 올여름까지 구체적인 방안을 내놓겠다고 했다.

규제가 시행되면 ASML이 중국에 세 가지 모델의 선적하지 못하도록 하는 내용이 담겼다고 블룸버그는 부연했다. 소식통은 ASML의 DUV 장비 3개 모델(트윅스 캔 NXT:2000i·2050i·2100i)이 규제 목록에 포함될 것이라고 전했다.

네덜란드는 지난 2019년부터 ASML의 최신형 EUV 노광장비를 중국에 수출하지 못하도록 했다. ASML은 반도체 초미세공정에 사용되는 EUV 노광장비를 공급하는 사실상 유일한 업체다. 중국은 EUV를 들여오지 못하자 EUV보다 구형 버전인 DUV를 매입해 왔는데, 이마저도 어렵게 된 상황이다.

다만 블룸버그는 네덜란드가 이 같은 조처를 취하더라도 미국의 대중 수출 통제에는 못 미치는 수준이라고 평가했다. 바이든 행정부는 지난해 10월부터 첨단 반도체나 관련 제조장비를 중국에 수출하는 기업들에 라이선스 취득을 요구하고, 중국에 판매할 특정 반도체를 미국산 장비로 제조하기 전에 미 당국의 승인을 받도록 했다. 사실상 중국의 독자적인 첨단 반도체 생산을 막으려는 의도다.

주요 반도체 장비업체 가운데 미국의 어플라이머티어리얼즈와 램리서치와 네덜란드의 ASML과 일본의 도쿄일렉트론까지 수출 규제를 본격화하면 중국의 반도체 장비 조달 루트는 완전히 차단될 수 있다.

이현일 기자 hiuneal@hankyung.com