특수가스 장비社 진솔루션 "AI 탑재 차세대 제품 개발"

반도체 웨이퍼로 만드는 메모리 칩, OLED(유기발광다이오드), LCD(액정표시장치) 공정에는 다양한 가스가 필요하다. 기판 세정, 박막 증착, 식각 등 미세 공정에는 실란(SiH4), 염소(CL2), 질소 등 100여 종류의 특수 가스가 쓰인다. 이때 필요한 게 특수...

2024.09.01 17:25