이온주입장치 첫선...베리안코리아서 납품
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반도체제조용 첨단장비인 이온주입장치(Ion Im Piaster)가 국내에서 첫생산돼 국내 반도체업체에 공급된다. 23일 베리안코리아는 출력 120K전자볼트(EV)의 이온주입장치를 첫 생산,삼성전자에 납품한다고 밝혔다. 이온주입장치는 반도체용 기판에 불순물을 주입하는 공정에 사용되는 것으로 1,000만분의 5토르(Torr)이하의 고진공속에서 플래즈마에의해 만들어진 이온에 높은 전압을 가해 직접 기판에 주입시킨다. 따라서 이 장비제조에는 고진공 고전압, 정밀기계및 컴퓨터를 이용한 제어등 첨단기술이 종합적으로 필요하다.