차세대 VLSI 64메가D램 개발...일본 주요반도체메이커

일본의 주요반도체메이커들이 차세대VLSI(초대규모집적회로) 메모리인64메가D램 개발에 성공했다. 일본의 도시바 후지쓰 미쓰비시전기 마쓰시타전기등 4개 반도체업체들은11일 차세대 반도체메모리인 64메가D램을 개발, 내달 미 샌프란시스코에서열리는 국제고체회로회의(ISSCC)에서 성과를 발표할 것이라고 밝혔다. 64메가D램은 올해중으로 시제품 출하가 예상되는 16메가D램에 이은차세대 반도체메모리로 지난해 6월 히타치제작소가 전자빔광학기술을이용해 세계최초로 개발했다. 도시바등 후발4개사가 이번에 개발한 64메가D램은 자외선i선 및엑시머광선을 이용한 것이며 이의 개발로 칩의 대량생산이 가능케 될전망이다. 이들 4개업체들은 반도체 올림픽으로 불리는 ISSCC에서 64메가D램을공개함으로써 히타치에 앞서 상품화를 실현할 계획이다. 한편 미국의 IBM AT&T(미전신전화) 벨연수소, 독일의 지멘스, 한국의삼성전자등 거대반도체메이커들은 아직 64메가D램 개발에 큰 진전을보지 못하고 있다.