동부제강/화학연, 고순도 다결정실리콘 대량제조공정 개발

반도체산업의 원천소재인 고순도다결정실리콘을 값싸게 대량생산할수있는새 공정이 세계최초로 국내에서 개발됐다. 18일 동부제강(사장 송롱호)과 한국화학연구소(소장 채영복)는삼염화실란(TCS)을 원료로하는 다결정실리콘제조공정을 7년간의 연구끝에개발,국내및 미국 일본 이탈리아등 5개국에서 특허를 땄다고 밝혔다. 동부제강 정홍용상무를 중심으로한 연구팀과 화학연구소의 윤김희영박사팀이 공동개발한 이 공정은 다결정실리콘성장시 연속주입이가능토록 다결정실리콘을 립장으로 만들수 있어 세계적인 연구성과로인정받고있다. 연구팀은 이 공정기술을 이용,연산 10t규모의 시범생산플랜트를완성하는등 대량생산기술도 갖췄다. 이 공정은 지멘스법에 의한다결정실리콘생산보다 전력비를 33%,생산원가도 25%가량 절감할수 있다. 이같은 기술적 우수성으로 일본 독일의 국제적 실리콘제조업체들이기술이전교섭을 펴오고 있는것으로 알려지고있다. 동부제강측은 국내 반도체공업의 기초소재를 국산화하기위해 TCS부터국내생산을 검토해 왔으나 반도체기술선진국의 관심이 의외로 커 이 공정의활용방안을 다각도로 마련중이라고 밝혔다. 다결정실리콘의 세계수요는 연간9천t이며 국내수요는 5백t이나 연평균 1015%의 신장이 예상돼 오는2000년께면 세계시장이 10억달러를 넘을 것으로전망된다