<해외경제>일전기사, 새플라즈마CVD장치개발[일본공업신문]
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일본 고쿠사이전기는 완전모줄화로 조(체임버)구성을 자유롭게 확장할수있는 액정패널제조용 배엽식다층연속성막플라즈마화학기상성장(CVD)장치인 ''DL-100시리즈''를 개발, 최근 시판에 나섰다. 소용량형 DL-100(가격2억5,000만엔)과 양산형의 동1200(동5억엔)이 있다. 출하는 1994년6월부터. 판매목표는 앞으로 2년간 약35억엔. 동사는 20%의 시장셰어를 목표로 한다.