반도체 장비 '자동표면 세정기'국산화 성공...한국DNS

반도체 전공정 제조 장비인 ''자동표면 세정기''가 처음으로 국산화 돼 연간 3백억원의 수입대체 효과를 거두게 됐다. 2일 업계에 따르면 한국DNS는 최근 반도체 전공정 제조장비인 자동표면 세정기를 자체 개발하는데 성공, 이달부터 본격생산에 들어갔다. 이 장비는 반도체 제조시에 약액을 이용해 웨이퍼 표면의 오염물질을 깨끗이 제거하는 장치로서 지금까지는 국내 반도체 업체들이 이 세정기를 일본 등지로 부터연간 3백억원어치 수입해 왔었다. 현재 국내 반도체 산업은 메모리 분야의 제품 개발 및 양산 능력에 있어서는 세계적인 수준에 도달해 있으나 이를 뒷받침하는 반도체 원재료의 국산화율은 37%, 제조장비 분야의 국산화율은 12%에 불과해 반도체 산업의 균형적인 발전에 걸림돌이 돼왔다.