상공자원부, IC외관 자동검사장치 개발

상공자원부는 26일 공업기반기술개발 자금을 통해 차세대 반도체 검사장비개발을 위한 핵심기술인 IC(집적회로)외관 자동검사장치를 개발했다고 발표했다. 이 검사장치는 한국반도체연구조합 주관으로 (주)유진로보틱스 (주)아이멕스 삼성항공연구소등 중소기업과 대기업이 공동으로 참여,정부출연금 4억5천7백만원과 민간부담금 2억7천1백만원등 모두 7억2천9백만원의 개발비를 들여3년6개월만에 개발된 것이다. 이에따라 이제까지 반도체 패키지 외관을 육안으로 검사하던 것을 CCD(고체촬상소자)카메라나 레이저로 자동검사할수 있게 돼 한시간에 1천4백여개의 패키지에 대한 검사가 가능하며 불량률도 크게 줄일수 있게 됐다. 또 그동안 전량수입에 의존하던 이 고성능장치를 내년부터 국산으로 대체할수 있게 돼 오는 98년까지 3천만달러상당의 수입대체효과를 거두는 한편 7백만달러가량의 수출까지도 가능할 것으로 상공자원부는 내다봤다. 이와함께 이 검사장치 기술개발을 통해 제품시각검사 특허출원 1건,IC이동장치등 실용신안 23건을 출원했고 고속.초정밀도 시각검사분야의 핵심기술을 확보함으로써 전자부품검사장치 반도체부품계측장치등 관련산업분야의 경쟁력향상에도 도움이 될 것이라고 상공자원부는 덧붙였다. (한국경제신문 1994년 9월 27일자).