산업과학기술연, 러시아와 '초고진공 다목적 중착장비'개발

산업과학기술연구소(RIST)가 러시아와 공동으로 초고진공 다목적 증착장비를 개발했다. 13일 산기연은 전자소재연구팀 양충진박사팀이 러시아의 모스크바핵물리대학과 공동으로 진공증착장비를 개발했다고 밝혔다. 진공증착장비는 금속이나 금속산화물을 레이저등으로 분말로 만들어 기판위에 얇은 막으로 만드는 장비로 반도체나 전자소자등의 연구개발및 생산에 필요한 장비이다. 이장비로 1백억분의 1토르( Torr .진공도를 나타내는 단위)의 진공상태를 만들어낼수 있으며 이 진공을 만드는데 걸리는 시간이 1시간으로 짧다. 또 레이저총 1대와 진공열증착도가니 2대를 갖춰 레이저에 의한 증착과 열에 의한 증착작업을 동시에 할수 있어 한기판위에 최대 6층의 박막을 만들수있다. 박막의 두께는 옹스트롱에서 미크론수준(1천만분의 1m에서 1백만분의 1m)까지 조절할수 있고 레이저증착과정을 컴퓨터로 정밀하게 제어할수 있어 레이저분자빔 박막제조가 가능하다. 양박사는 이장비를 새로운 조성의 자성박막개발연구에 이용 새로운 자성체를찾아내 자기센서소자 이동통신용 고주파부품소자등에 응용하는 연구를 하고 있다고 밝혔다. 또 이장비를 이용해 전자소자용 단결정 다결정박막 이동통신용 고주파부품에 사용되는 박막을 가공할수 있다고 설명했다. (한국경제신문 1995년 4월 14일자).