삼성정밀화학, TMAH 상업생산 돌입 .. 연 500t 설비 가동

삼성정밀화학은 반도체 현상액인 TMAH(테트라메틸암모니엄하이드록시드)를개발, 상업생산에 들어갔다고 27일 발표했다. TMAH는 반도체제조공정에서 광선으로 그은 회로를 실제 회로로 나타나게 하는 현상액으로 국내 반도체업체들이 미국및 일본에서 전량 수입해온 첨단정밀화학제품이다. 삼성정밀화학은 일본의 도꾸야마사와 합작으로 울산단지에 1백억원을 투자해 연산 5백t규모의 TMAH 생산설비를 완공했다고 밝혔다. 삼성관계자는 이 설비가동으로 연간 2백억원정도의 수입대체효과를 볼 것으로 전망했다. 이 관계자는 반도체 산업에서 특히 관련 정밀화학 제품의 국산화율이 저조한 것으로 지적돼 왔다며 반도체 현상액 생산을 계기로 반도체 공업약품 개발에 적극 나설 것이라고 설명했다. (한국경제신문 1995년 11월 28일자).