생산기술연구원, 질화규소 제조기술 개발

생산기술연구원이 폐 실리콘을 활용해고부가가치 소재인 질화규소를 제조하는기술을 개발했다. 29일 생기원 한원택박사팀은 폐 실리콘을 고순도의 분말로 바꾼 다음 고온에서 질화처리를 해 질화규소를 만드는 기술을 개발, 특허출원 했다고 밝혔다. 반도체 소자를 생산하면서 생기는 폐실리콘은 국내의 경우 1백20억원어치에 해당하는 3백톤정도가 매년 발생되는데 대부분 외국 실리콘 생산업체에 팔거나 매립하고 있다. 한박사는 "폐 실리콘 재활용 기술 개발은 이번이 처음"이라며 "이 기술을 활용, 3백톤의 폐실리콘을 처리할 경우 1천억원에 달하는 질화규소를 얻을수 있다"고 밝혔다. 질화규소는 세라믹 엔진,고온 내열재등에 쓰이는 파인세라믹원료이다. (한국경제신문 1995년 11월 30일자).