[반도체 장비] 국내 주요업체 소개 : P.S.K 테크

피에스케이테크(대표 박경수)는 국내 반도체 전공정 장비업체중에서 유일하게 국산화를 실현, 외국 수입품업체들과 경쟁하고 있다. 이 회사는 지난90년 반도체장비 무역업체인 금영무역이 50%를 투자해 일본의 플라즈마시스템및 니폰산소와 합작으로 설립했다. 반도체 전공정인 사진공정에서 유기재료(포토레지스트)를 제거하는 플라즈마 애셔를 비롯 LCD용 플라즈마 에처및 애셔를 생산하고 있다. 최근에는 평택시 송탄공단에 20억원을 투자해 건평 1,200평 규모로 최첨단시설을 갖춘 연산 500억원규모의 플라즈마 애싱 장비생산및 조립시설을 완공하고 양산에 나섰다. 신공장의 생산규모는 애셔장비가 연간 100대, 에처장비가 20대규모이며 올해는 반도체 제조용제품 235억원어치와 LCD용등 총330억원어치를 양산할 계획이다. 이와함께 98년까지 신공장 옆에 공장을 신축해 생산규모를 현재의 두배수준으로 늘릴 예정이다. 하반기에는 한번에 웨이퍼 1장을 가공할수 있는 싱글타입 모델을 개발해 선보일 예정이다. 이 제품은 기존의 주력모델인 배처타입이 1번에 50장을 가공하는 대량생산용 제품인데 비해 주문형 반도체의 소량 생산체제에 적합한 기종이다. 또 국책과제로 오존 애셔를 개발완료하여 시험가동중이며 LCD에처및 애셔 국산화 개발에도 투자중이다. 이를 위해 올해 17억원의 연구개발비를 투자하고 연구인원을 확충할 구상이다. 이번 국산화 생산과 함께 올해부터 일본에 장비 부품의 역수출을 시작할 계획이다. 올해 매출목표는 330억원이다. (한국경제신문 1996년 6월 10일자).