[반도체 장비] 국내 주요업체 소개 : 한국아토엔지니어링
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가스캐비닛및 정글박스업체인 한국아토엔지니어링(대표 오순봉)은 뛰어난 기술력하나로 창업 5년만에 매출액 350억원을 바라보는 탄탄한 업체로 급성장했다. 92년 가스캐비닛을 개발, 생산한 이후 95년엔 반도체장비를 진공으로 만들어 불순물을 제거하는 HGRS(열가스재순환청소장치)를 국산화, 보급에 나서고 있다. 이 제품은 반도체제조장비에 열을 가하면서 그안에 있는 습기 먼지등을 제거해 빠른 시간에 청소하고 높은 진공을 만들어내는 장비. 기존에 14시간 소요되던 작업을 단 2시간에 끝낼수있는 획기적인 장치이다. 한국아토엔지니어링은 이에 그치지 않고 차세대 반도체소자의 프로세스를 위한 필연적인 장비인 고밀도 플라즈마 화학적 증착장비의 개발에 착수하는등 연구개발에 총력을 기울이고 있다. 최근에는 영국의 세계적 다국적기업인 BOC사와 전략적 제휴관계를 맺고 기술전수및 BOC사의 동남아시장 우선공급권을 획득, 수출확대에도 나서고있다. 일본에는 에스텍사와 정글박스를 OEM(주문자상표 부착생산) 방식으로수출키로 계약을 맺고 곧 선적할 계획이다. 화학증착장비등 신제품을 계속 개발,2000년대에는 세계톱10의 반도체장비업체로 성장하겠다는 것이 한국아토엔지니어링의 야심찬 포부이다. 미국 일본 대만 말레이시아 등 세계8개국에 가스캐비닛및 정글박스를 수출해온 이 회사는 올해 수출목표를 1,000만달러로 잡고 있다. 지난해 제14회 벤처기업상 과학기술처장관상을 수상한 이 회사는 국제품질보증규격인 ISO 9002 인증도 획득, 체계적인 품질시스템을 갖췄다. (한국경제신문 1996년 6월 10일자).