'반도체 와이어본딩' 자동검사장비 개발 .. 아남산업

아남산업이 반도체 와이어본딩작업의 불량여부를 전자동으로 검사할수 있는 장비를 세계에서 첫 개발했다고 26일 발표했다. 아남산업 기술연구소가 1년여의 연구끝에 만든 이 장비는 4백만화소 수준의 고감도 CCD카메라와 조명시스템및 화상그래픽 분석소프트웨어를 이용, 와이어본딩 작업의 불량여부를 검사한다. 와이어본딩은 반도체칩과 리드(외부단자)를 연결하는 작업으로 그동안 불량여부를 육안에 의해 검사해왔는데 이 경우 1개를 검사하는데 4~5시간이걸렸으나 이번에 개발된 장비를 이용하면 3분만에 끝낼수 있다. 아남산업은 장비 개발후 국내업체로부터 이미 10대의 주문을 받았고 내년엔 필리핀 말레이시아 대만 등지로 1백40대(1백50억원)를 수출할수 있을 것으로 기대하고 있다. (한국경제신문 1997년 11월 27일자).