[과학&정보통신] 신기술 : '한빛진공산업개발' 박상규 사장

"회사설립 만2년,매출액 5억여원" 지난 96년4월 설립된 한빛진공산업개발(대표 박상규)은 겉으로는 평범한 벤처기업이다. 그러나 박사장의 이력과 개발프로젝트를 들여다보면 결코 범상한 중소기업이아니다. 박 사장은 미국 휴스턴대에서 공학박사학위를 받고 포항공대 조교수를 지낸 교수출신의 벤처기업가. 주요 개발품목은 그가 14년째 연구중인 이론을 산업현장에 결합시킨 반도체장비와 산업용 진공부품이다. 한빛이 최근 개발,특허출원을 준비중인 "고밀도 플라스마 발생장치"는 에처(식각기) CVD(화학증착기) 등 반도체 웨이퍼 전공정장비에 부착,박막표면을 정밀가공하는 핵심모듈. 1입방cm당 1천억개이상의 플라스마 밀도를 만들어내는 이 장치는 0.2마이크로m(머리카락 두께의 1천분의 2)미만의 미세가공이 가능한데다 대면적 구조로 설계됐다. 따라서 3백mm (12인치) 대면적 웨이퍼공정에 적용, 256MD램 반도체를 대량생산할수 있다. 현재 2백mm및 3백mm 웨이퍼용 장비를 양산할수 있도록 국내 반도체업체와 기술협의를 진행중이며 투자자도 물색중이다. 박 사장이 안정된 대학강단을 포기하고 창업에 나선 동기는 해외의존도가 극심한 반도체장비를 국산화하기 위한 것. 반도체소자기술은 뛰어나지만 생산장비 국산화율이 10~15%에 불과, 매년 20억~25억달러를 장비수입에 쏟아붓고 있기 때문이다. 따라서 수입품보다 20~35%가량 싸고 성능이 우수한 이 장비가 양산되면 급속한 수입대체효과가 기대된다는게 회사측의 설명이다. 한빛은 지속적인 연구개발과 기술산업화로 올해 27억원, 2000년엔 2백억원의매출을 달성, 세계적인 반도체장비 생산업체로 발돋움할 계획이다. ( 한 국 경 제 신 문 1998년 4월 21일자 ).