한국엠에이티, 반도체용 가스 스쿠러버 개발

한국엠에이티(대표 김동수)가 버닝방식과 흡착식의 장점을 하나로 통합한 반도체용 가스 스쿠러버(세정기.모델명 MAT505BA)를 개발, 양산에 들어갔다. 반도체생산공정에서 발생하는 폐가스를 처리하는 방식은 여러가지가 있지만버닝. 흡착식을 하나의 기계장치안에서 가능토록 설계 한 것은 이 제품이 처음이다. 이 제품은 배출가스의 성분에 관계없이 수소 화합물을 히터를 사용하여 강제산화처리하여 안정한 상태의 산화물로 배출시켜준다. 특히 버닝방식에서 처리가 불가능했던 할로겐족의 가스들은 흡착부문에서 처리가 가능하고물(수) 스쿠러버에서는 처리가 안되는 프레온종류의 가스들도1차 히터부분에서 열분해 시킨 후 2차 흡착부문에서 처리가 가능한 것이 특징이다. 또 유기화합물(VOC)가스들도 안전하게 처리할 수 있다. 김동수 대표는 "포토공정중에 사용되는 휘발성유기물에 대해서는 지금까지는 바로 배기덕트로 배기시켰으나 내년 1월부터 법적규제치가 적용된다"며 "이 제품은 VOC가스에 대한 대비장비로도 사용할 수 있다"고 권장했다. (0333)659-0600 ( 한 국 경 제 신 문 1998년 12월 1일자 ).