[신기술&신개발] '테라비트 기억소자 핵심기술' .. KIST

차세대 반도체소자로 주목받는 테라비트(1기가비트의 1천배)급 기억소자를 만드는 데 쓰이는 핵심 원천기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다. 한국과학기술연구원(KIST) 김은규.김용 박사팀은 최근 고려대및 한국과학기술원(KIST)와 공동으로 "단전자 트랜지스터(SET)"를 상온에서 동작시키는 데 성공했다. 기가D램에 쓰이는 트랜지스터가 보통 1만개정도의 전자를 이용해 메모리의 연산기능을 수행하는 데 비해 SET는 전자 한개만으로도 연산 작동이 가능해 공정이 간단하고 집적도를 크게 높일 수 있다. 이 때문에 일본 미국등에서도 대표적인 차세대 반도체소자용 핵심기술로 앞다퉈 개발중이다. 김용 박사는 "이번 기술은 트랜지스터안에 전자가 들어갈 수 있는 1백만분의 1cm 크기의 방을 만들기 위해 기존의 전자빔을 쏘는 방식외에 비가 올때 유리창에 물방울이 맺히는 현상과 같은 자발형성법을 사용한 게 핵심"이라며 "일정 온도에서는 일본 미국 등에서 발표된 소자보다 우수한 특성을 나타냈다"고 말했다. 김 박사팀은 이번 기술 성과를 바탕으로 단전자 트랜지스터를 적용한 집적회로(IC) 기술을 개발할 계획이다. 이번에 개발된 SET기술은 이미 "어플라이드 피직스 레터스"등 해외 저명학술지에 게재됐으며 국내특허도 출원됐다. ( 한 국 경 제 신 문 1999년 1월 14일자 ).