반도체업계, 청정기술 개발 나선다...환경오염 방지위해

반도체업계가 환경 오염 방지를 위해 청정기술 개발에 본격 나선다. 한국반도체산업협회는 8일 환경오염에대한 규제가 강화됨에따라 불소화합물(PFC)발생량 감축 기술등 8개의 청정기술을 앞으로 5년간 2백여억원의 자금을 들여 개발키로했다고 밝혔다. 협회의 이같은 방침은 최근 세계반도체산업협의회에서 PFC발생량을 오는 2010년까지 10%이상 줄이기로 결의하는등 청정기술을 개발하지 않고서는 반도체 수출이 힘들어지고 있는데 따른 것이다. 협회는 최근 2개월여동안 연구끝에 반도체제조 청정기술개발사업을 마련했으며 오는 13일 서울 한국과학기술회관에서 이에대한 공청회를 가질 계획이다. 협회가 마련한 청정기술개발사업(안)은 반도체 제조회사,반도체 장비.재료회사,학계 등 3자가 참여하는 컨소시엄을 통해 8개 청정기술을 앞으로 5년간 개발한다는 것이다. 연구대상 8개 청정기술은 불소화합물,유기화합물(VOC)케미칼&가스,CMP슬러리,폐기물,폐수,에너지(전기) 등의 사용.발생량 감축과 세정 기술 등이다. 협회 관계자는 "기후환경협약으로 앞으로 환경마크가 없으면 수출이 불가능해지는 시대가 올 것으로 예상된다"면서 "정부에도 매년 40억원정도의 연구자금을 지원해달라고 요청할 계획"이라고 말했다. 박주병 기자 jbpark@ ( 한 국 경 제 신 문 1999년 4월 9일자 ).