구리칩 생산장비 2종 개발 국내 판매 .. AMK

어플라이드 머티리얼 코리아(AMK)가 차세대 반도체인 구리칩을 양산하는 데필요한 생산장비 2종을 개발, 한국에 판매를 시작했다고 6일 밝혔다. 구리칩은 현재 반도체 회로 합성물로 사용되고 있는 알루미늄을 대신해 구리를 실리콘 표면에 증착시키는 것으로 칩의 처리속도를 높이고 제조비용을절감할 수 있는 차세대 반도체다. AMK가 시판에 나선 구리칩장비는 밀레니아 ECP와 미라 Cu CMP 등 구리를 이용한 층간 배선및 연마 제품품 2종이다. 특히 밀레니아 ECP는 업계 최초로 화학약품을 자동공급할수 있도록 설계됐다는게 장점이다. 또 저산도 전해질 제조법을 채용, 균일성이 뛰어나고 구리칩의 대표적이 단점으로 지적됐던 오염문제를 해결했다. 미국의 조사기관인 VLSI는 구리칩 장비시장이 내년부터 4년간 매년 5백% 이상 고속 성장, 2003년경에는 17억달러 이상의 거대시장을 형성할 것으로 내다봤다. ( 한 국 경 제 신 문 1999년 5월 7일자 ).