실리콘테크, 日 업체와 반도체 장비 공동개발

코스닥등록 반도체장비업체 실리콘테크는 일본의 반도체 장비업체 대양동양산소주식회사와 300㎜ 차세대 웨이퍼 세정용 장비인 ''아이스 블라스터'' 장비 공동개발에 착수했다고 22일 밝혔다.

이에 따라 실리콘테크는 트랙장비를 국산화한 기술을 활용해 장비개발을 담당하고 대양동양산소는 얼음발생장치 개발을 담당해 올 하반기까지 장비개발을 완료하고 반도체 생산공정에 투입할 예정이다.

실리콘테크 관계자는 "최근 반도체 소자업체가 초미세패턴으로 보완투자하고 있어 웨이퍼의 세정기술에 있어서도 새로운 기술이 요구되고 있다"며 "이번 계약을 통해 이 분야에서 세계적인 선진기술 확보 및 매출증대가 기대된다"고 말했다.

일본 대양동양산소주식회사는 아이스블라스터장비를 세계 최초로 개발한 상장사다.

한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com