반도체 오염방지장비 국산화 추진 .. 한국도카이카본

반도체 소재업체인 한국도카이카본(대표 권봉수)은 'CVD-SiC(화학기상증착장비-실리콘카바이드)' 제품의 국산화에 나선다고 27일 밝혔다. 현재 수입에 의존하고 있는 CVD-SiC 제품은 화학약품과 고온에 강하고 마모성이 적은 반도체 제조공정용 오염방지 청정소재다. 반도체 제조장치내의 청정도 요구가 점차 높아지고 있어 수요가 크게 늘어날 것으로 예상되고 있다. 한국도카이카본은 국산화를 위해 일본 도카이카본으로부터 설비를 도입하고 내년 양산을 목표로 경기도 안성공장에 설비 공사를 하고 있다. 내년부터 생산이 시작되면 연간 50억원 이상의 수입대체 효과가 기대된다고 회사측은 설명했다. 한국도카이카본은 한국의 반도체 장비업체 케이씨텍과 일본의 카본 생산업체인 도카이카본이 합작으로 1996년 설립했다. (031)677-0277 서욱진 기자 venture@hankyung.com