큐텍,석영 돔 성형기술 '특허'

큐텍은 반도체 제조공정에 사용되는 석영 돔(Dome)을 성형하는 새 기술을 개발해 특허를 취득했다. 이 특허기술은 지난 2년간 3억원의 연구개발비를 투자해 개발한 무용접 가공기술이다. 큐텍 관계자는 "석영 돔은 반도체 웨이퍼 제조공정에서 주로 사용되는 핵심 부품이지만 기존 수작업으로는 균일한 두께 및 원형도를 유지하기 힘들어 획기적인 성형기술이 필요했다"고 설명했다. (043)536-9200 양홍모 기자 yang@hankyung.com