아펙스,액체소스 분사 기화장치 특허 취득 입력2006.04.02 12:43 수정20060402124 아펙스는 15일 액체소스 분사 기화장치에 대해 특허를 취득했다고 밝혔다.또 냉각수단을 구비한 히터 조립체와 유기화합물 화학기상 증착방법에 사용되는 액체원료 공급장치에 대해서도 각각 특허를 취득했다. [한경닷컴 뉴스팀] Facebook