극고진공용 이온펌프 개발..포항공대 정석민 교수팀

포항공대 정석민 교수팀은 ㈜브이엠티(대표 김진곤)와 공동으로 극고진공(XHV)용 이온펌프를 개발했다고 3일 밝혔다. 이번에 개발된 장비는 고도의 청정도가 요구되는 가속기,표면분석,나노과학 등에 쓰이는 이온펌프의 내면에 1나노미터(㎚·10억분의1m) 두께의 크롬산화막을 입혀 펌프자체의 진공도를 크게 높였다. 안정적인 동작이 가능하고 원격지에서 인터넷을 통해 제어할 수 있다. 이온펌프는 진공 용기 내부의 기체 분자를 이온화해 펌프 내부에 장착된 활성도 높은 물질에 흡수시켜 배기작용을 하는 장치. 기체 분자를 이온화하는 특성으로 물분자나 산소 수소등의 활성 기체는 물론 메탄이나 아르곤 등 불활성 기체까지 배기시킬 수 있다. 정 교수는 "그동안 국내에서는 이온펌프를 전량 수입에 의존했다"며 "이번에 개발한 극고진공용 이온펌프는 선진국 제품과 비교해 손색이 없어 상당한 수입대체 효과가 있을 것"이라고 말했다. 김경근 기자 choice@hankyung.com