주성엔지니어링,반도체소자 제조장치관련 특허취득
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주성엔지니어링은 4일 반도체소자 제조장치 및 클리닝방법에 대해 미국특허를 취득했다고 밝혔다.
주성엔지니어링은 또 고밀도 플라즈마 화학기상증착 장치 및 이를 이요한 갭필링방법에 대해 대만특허를 취득했다.
회사는 이들 특허취득으로 반도체장비의 경쟁력이 강화될것으로 예상하고 있다.
[한경닷컴 뉴스팀]