피케이엘,원자층 증착장치 관련 특허
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피케이엘은 정보통신연구진흥원과 공동으로 복수매 기판 박막 증착공정이 가능한 원자층 증착장치에 대한 특허를 취득했다고 23일 밝혔다.
회사측은 "이번 특허는 원자층 증착이 가능한 반응로에서 여러장의 기판을 장착 성장 기판수를 증가시킴으로써 양산 적용시 생산성을 향상시킬 수 있다"며 "향후 원자층 성장장치 설계에 활용할 예정"이라고 덧붙였다.
[한경닷컴 뉴스팀]