피케이엘,건식식각장치 특허 취득

피케이엘은 건식식각장치에 대해 특허취득했다고 18일 밝혔다. 이 특허는 페이스 다운 방식의 건식식각장치에서 기판의 로딩/언로딩을 자동으로 수행하고 플라즈마의 균일도를 향상시킴으로서 식각 균일도를 높일 수 있다고 회사측은 설명했다. [한경닷컴 뉴스팀]