[눈에 띄는 상품] 어플라이드비전텍, 웨이퍼 자동검사장치
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어플라이드비전텍(대표 최병곤)이 반도체 웨이퍼를 검사하는 영상자동검사장치를 개발했다.
웨이퍼의 현상 공정 중에 발생하는 결함을 찾아주는 장치다.
회사측은 설치된 카메라가 1미크론 크기까지 결함을 파악해 24시간 실시간 영상으로 보여준다고 설명했다.
또 전 공정과장은 PC를 통해 통계적으로 분석된다.
무인자동운전이며 불량이 발생하면 알람시스템을 통해 신속하게 알려준다.
이미 삼성전자 반도체 공정에서 사용되고 있다.
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문혜정 기자 selenmoon@hankyung.com