[굿! KT마크 10년] 유공업체 : 국무총리상 ‥ '한국디엔에스'

한국디엔에스(대표 임종현)는 전량 수입해오던 반도체 전공정 설비인 초자외선(DUV)용 종합도포현상 설비를 국내 최초로 개발,국산화했다. 이 장비(모델명 K-SPIN8)는 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성시키기 위한 도포공정과 DUV를 이용,패턴이 노광된 웨이퍼를 현상하는 것으로 반도체 사진공정의 핵심 장비다. 이 장비 개발로 한국디엔에스는 1천5백억원의 매출을 올렸다. 1백억원대의 수출 실적도 올렸다. 수입대체 효과도 연간 7백억원에 이르는 것으로 추산되고 있다. 이 기술과 관련,한국디엔에스는 국내 특허 37건,해외 특허 11건을 출원했다.