주성엔지니어,MOCVD-TiN 박막 관련 특허취득 입력2006.04.01 22:08 수정20060401221 주성엔지니어는 15일 MOCVD-TiN 박막 형성방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 한경닷컴 김희수 기자 hskim@hankyung.com Facebook