"최대수요처 삼성전자가 직접 CVD 생산한다니"

삼성전자와 일본의 DNS가 합작 설립한 한국DNS가 올해 하반기 중 CVD(화학증착장비) 양산에 본격 나서기로 함에 따라 기존 CVD업체들이 긴장하고 있다. 반도체업계에 따르면 한국DNS가 생산할 제품은 실리콘 웨이퍼 표면에 가스나 화학물질로 얇은 막을 형성시키는 '고밀도 플라즈마(HDP) CVD'다. 삼성종합기술원 삼성전자 메커트로닉스센터 등과 공동으로 지난해 6월 개발했다. 한국DNS는 최근 이 장비 양산을 위해 인력을 보강한 것으로 알려졌다. 한 반도체업계 관계자는 "주성엔지니어링에서 최근 일부인력이 옮겨갔다"고 말했다. 하반기 중 양산에 들어갈 경우 삼성전자가 앞으로 발주할 반도체 14라인에서부터 설치될 것으로 예상되고 있다. 이 제품은 앞으로 삼성전자 반도체라인에 공급 1순위로 자리매김할 가능성이 커 아토와 국제일렉트릭코리아 등 삼성전자에 주로 납품해온 CVD업체들이 촉각을 곤두세우고 있다. 주성엔지니어링은 삼성전자에 납품하지 않고 있지만 수출시장에서 경쟁할 가능성이 있어 역시 긴장을 늦출 수 없는 입장이다. 한국DNS는 일본DNS와의 기술이전 문제로 수출 품목에 제한이 많았지만 이 제품의 경우 수출도 가능하기 때문이다. 이에 대해 삼성전자 관계자는 "한국DNS를 통해 CVD 장비를 국산화한 것은 미국 등지에서 수입되는 고품질의 반도체 장비를 수입대체하기 위한 것"이라고 설명했다. 이 관계자는 또 "한국DNS가 생산하는 CVD 장비는 기존 국내기업들이 생산하는 CVD 장비와는 기능과 용도가 서로 달라 직접적인 경쟁품목이 되지는 않을 것"이라고 덧붙였다. 고경봉 기자 kgb@hankyung.com