[Econo Korea] 국제엘렉트릭코리아(주)..국내반도체산업 초석될터

국내 경제의 초석이 되고 있는 반도체산업 기존 Single Wafer Process 장비로는 달성 할 수 없었던 High Throughput을 실현하여 현재 화학증착(CVD)장비를 대체할 차세대 증착장비인 BATCH Type ALD(원자층증착 장비) 장비의 공동개발이 완료되어 2003년부터 양산용 장비를 공급하고 있어 업계의 귀추를 주목 시키고 있다. 그 기업이 바로 국제엘렉트릭코리아(주)(대표 장재영www.kekorea.co.kr)이다. 지난 1993년 세계적인 반도체 장비 기업인 일본의 (주)히다찌국제전기와 합작 설립되어 반도체 장비제조,판매,설치,Retrofit,부품판매,A/S 및 연구개발로 장비의 국산화를 통해 회사 발전뿐만 아니라 국가 경제 발전에 큰 기여를 하고 있다. 이 회사는 국내 유일의 전공정 Main 장비인 Diffusion Furnace 및 LP-CVD 전문기업으로 확고한 기술경쟁력 및 고객과의 장비 공동개발로 기회를 선점하고 있는 기업이다. 삼성전자의 300mm Wafer 생산라인 설비투자의 적극적인 수주를 시작으로 지난 2003년 매출액이 550억원,영업이익이 58억원에 이른다. 이는 전년 대비 매출 129%,영업이익 90% 증가로 창사 이후 최대 실적임은 물론 무차입 경영을 실현하고 있다. 국제엘렉트릭코리아의 생산제품은 산화막을 생성하는 Vertical Diffusion Furnace와 Device의 중요 막질을 저압에서 처리 생성시키는 Vertical LP-CVD System 등으로써 이는 고품질 반도체 생산의 핵심공정을 담당하는 장비들이다. 지난 2000년 10월에는 Device 생산업체와의 공동개발로 초극박막 기술을 응용한 저압산화막 형성장치인 양산용 LP-Oxidation 국산화 1호기(초극박막 실리콘 산화막 상장 장치)개발에 성공하였으며 2002년 3월에는 세계최초로 Device 생산업체와 함께 금속 전극용 MO-CVD JDP(공동개발프로젝트)에 성공하여 일본과 선진업체를 제치고 양산용 장비를 공급하는 개가를 올렸다. 이 회사 주력 제품 중 ▲New Thermal Process System(종형산화·확산/LP-CVD 장치)은 Device의 고집적화 및 300mm 대응용 확산 장비(Diffusion Furnace)및 화학기상증착장비(LP-CVD) 'QUIXACE'는 생산주기를 획기적으로 단축한 장비로,급가열/급냉각이 가능한 히터를 장착하였으며,최적의 온도조절장치를 사용하여 Wafer 표면의 온도를 직접 조절할 수 있고,고속 반송기구를 장착하여 Wafer 반송시간을 단축,생산성을 크게 향상시키는 장치이다. 이 장비는 반도체 Device 생산업체와 장비 평가계약을 맺고 양산성을 검증한 결과,우수한 품질 및 성능을 인정받아 본격적으로 양산라인에 장비를 공급하고 있다. 이 제품은 50∼150매 Wafer 처리가 가능하고 고속 반송기구를 채용하여 생산성 향상과 열영향 저감이라는 장점을 가지고 있다. 또한 프로세스 조건 최적화와 장치내 Air Flow최적화 등에 의해 양호한 막두께 균일성을 얻을수 있으며 낮은 Particle에 의해 생산라인의 수율이 향상되는 장점도 보유하고 있다. 더불어 ▲Batch ALD System(원자층증착 장비)은 Device가 미세화 됨에 따라 저온에서 우수한 막두께 균일성과 단차피막 특성이 필요한 공정 및 장치가 요구되고 있다. 본 장치는기존 CVD 방식의 단점을 극복한 원자층 성막방식을 채용하여 Si3N4,Al2O3,HfO2,PN 등의 공정이 가능한 장점을 보유하고 있다. 따라서 매엽방식에 비하여 생산성이 매우 우수하며,장기간 유지보수가 필요없으므로 저비용 고효율 실현이 가능하다. 장재영 대표의 2006년 매출 1000억원 달성이라는 목표아래 늦은 밤까지 연구소와 생산라인에는 불이 꺼지지 않고 있다. "비록 시작은 미약하였지만,인화와 봉사 그리고 창조의 사훈으로 결속되어 회사의 발전이 곧 개인과 국가의 발전이라는 뜻을 깊이 새기고 미래 한국의 새로운 기업 문화를 창달하겠다"라는 뜻을 강조했다. 중국등 해외시장으로의 적극적인 진출을 모색중에 있으며,히타찌국제전기의 장비설치,A/S용역 및 부품판매 독점권을 확보하여 국제적인 기술경쟁력을 가지게 되어 국가적으로도 많은 기대를 하고 있다.