"먼지가 뭔지 몰라요"..삼성전자 인간청소기 석.박사 60명

"먼지는 구경도 못하는데 우릴 보고 '먼지 박사'랍니다."

삼성전자 반도체공장 청정관리를 책임지고 있는 이 회사'FI(Fab Integration)'그룹 김왕근 그룹장(43)의 말이다.

FI그룹은 반도체 생산라인의 클린룸 설계부터 운영 및 청정관리까지 불순물을 없애는 최고의 전문가들이 모인 부서.삼성전자 국내외 사업장과 계열사의 청정관리를 총괄하고 있는 FI그룹에선 공기오염,가스,신소재 분야에 걸쳐 석·박사 및 전문가 60여명이 일하고 있다.

FI그룹은 초청정 공간에서 반도체 생산장비를 효율적으로 운용하기 위해 건물구조를 설계하고 기계를 배치한다.

또 반도체 공정의 수율을 결정짓는 클린룸 가스 등을 최적의 상태로 관리해 불량률 '0(제로)'에 도전한다.

먼지는 아무리 작은 것이라도 반도체에는 치명적이다.

반도체칩 회로의 정상적인 작동을 가로막기 때문이다.

따라서 1GB(기가바이트) D램을 만드는 첨단반도체 공장은 청정도가 '클래스 1'로 유지된다.

'클래스 1'은 1입방피트(30×30×30cm)에 0.1마이크로미터(1㎛=1백만분의 1m) 크기의 먼지입자가 1개 이하인 상태로 흔히 서울시의 7배만한 면적에 5백원짜리 동전 하나가 떨어져 있는 것에 비유된다.

반도체 산업 초기에는 먼지제거를 위해 99.97%의 여과율을 가진 '헤파필터'가 쓰였지만 최근에는 99.9999%의 여과능력을 지닌 '울파필터'가 쓰인다.

일반 먼지 외에 질소화합물,황화합물,암모니아 가스,오존,탄화수소 등 대기오염과 관련있는 환경오염원도 제품의 불량률에 큰 영향을 미치기 때문에 특수화합물 섬유로 처리된 암모니아 가스필터,오존필터 등을 이용해 제거한다.

김 그룹장은 "반도체 공정에서 요구되는 정밀함을 감안하면 근무자들이 두 눈만 내놓은 채 방진복으로 중무장하고 여성들의 화장이 엄격히 금지되는 것은 당연하다"고 말한다.

사람의 입에는 반도체칩이 가장 싫어하는 불순물이 수십종 존재하는데 침분자의 확산거리가 일상대화 때 2m,큰소리로 작업지시를 할 때 3∼4m,재채기할 때 4∼7m에 달하기 때문이다.

김 그룹장은 "반도체 강국으로 남으려면 미국 미네소타대학이나 일본 동북대학 등이 이미 10여년 전부터 연구하고 있는 '미세오염 기술'을 독립된 학문분야로 정착시켜 우수인력을 키워내야 한다"고 말했다.

장경영 기자 longrun@hankyung.com