주성, 반도체 배기시스템 특허

주성엔지니어링은 반도체 제조용 챔버의 배기 시스템 관련 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링은 이번 특허가 반도체 제조용 챔버에 부설되는 배기 시스템에 관한 것으로, 챔버 내부 전면적에 보다 균일한 배기압력을 부여할 수 있는 배기시스템을 제공한다며 반도체 장치의 경쟁력 강화에 기여할 것이라고 설명했다.

김양섭기자 kimys@wowtv.co.kr