[기업硏 1만개 시대] 과학기술포장 : 박성욱 하이닉스반도체 메모리연구소

20년간 반도체 메모리기술 분야에서 일한 베테랑이다. 지난 1972년 세계 최초로 0.35㎛(마이크로미터는.1백만분의 1m)급 64메가 D램 시제품을 개발했고,1998년에는 0.22㎛급 4세대 64메가 D램 개발 및 양산화에 성공했다. 또 미국 현지 생산공장에서 0.22㎛와 0.15㎛ 급 제품 생산 체제를 구축했고,골든칩(0.10㎛) 기술로 차세대 반도체인 5백12메가 DDR2 개발에 성공하는 등 반도체 분야에서 타의 추종을 불허하는 실력을 발휘해왔다. 박 소장은 한국과학기술원(KAIST)에서 재료학 석ㆍ박사 학위를 받았으며 지난해 3월부터 하이닉스반도체 메모리연구소를 이끌고 있다. 1992년에 박사 학위논문으로 발표한 '2백56메가 D램급 이상의 고집적 D램 제조공정에 사용되는 고유전체 박막 신기술'은 현장에 바로 적용되기도 했다. 그는 '반도체 기억장치 제조방법'등으로 해외에서 10건의 특허를 받았으며 국내에서도 반도체 제조 기술과 관련된 17건의 특허를 보유하고 있다.