한국DNS, 반도체 세정장비 日 수출

반도체장비 제조업체인 한국DNS(대표 임종현)는 3백㎜ 웨이퍼용 세정장비(K-WET300) 2대를 일본의 후지쓰에 수출했다고 20일 밝혔다. 이 장비는 반도체 제조과정에서 발생하는 웨이퍼 표면의 감광액 등 불순물을 제거하는 데 사용된다. 특히 이 장비는 세척 린스 건조를 연속 처리하는 '원배스'(one bath) 방식과 '멀티배스'(multi bath) 방식을 동시에 채택,웨이퍼의 외부 노출을 막아 산화막 방지 효과가 크다고 회사측은 설명했다. 임종현 한국DNS 대표는 "이번 계약은 세계 최고 기술의 일본 장비업체들을 제치고 따낸 첫 대일 수출"이라고 말했다. (041)620-8100임상택 기자 limst@hankyung.com