주성엔지니어링 산화막 증착방법 특허 취득 입력2006.04.02 12:14 수정20060402121 21일 주성엔지니어링은 탄탈륨 산화막 증착방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 한경닷컴 강지연 기자 serew@hankyung.com Facebook