[기술혁신 경영대상] 반도체장비부문 대상 : 국제엘렉트릭코리아

국제엘렉트릭코리아(대표 장재영)는 지난 93년 일본의 히타치국제전기와 합작으로 설립된 반도체장비 제조업체다. 반도체 전공정장비 제조업체인 이 회사는 수직식 확산 전기로,저압 화학기상증착 장비,저압 박막 산화막 성막장비 등을 주로 생산한다. 이 회사는 최근 반도체 장비의 핵심 부품을 국산화하는 데 주력하고 있다. 2000년 삼성전자와 공동으로 저압 박막 산화막 성막장비를 개발한 데 이어 2002년 원자층증착장비를 개발했다. 이 회사가 이번에 경영혁신대상을 수상한 것은 일괄처리 플라즈마 질화장비(Batch PN) 덕분이다. 이 장비는 웨이퍼를 담는 카세트를 이동하기 위한 포트가 장비 앞면에 2개 설치돼 있는 데다 웨이퍼 카세트 21개를 저장할 수 있는 선반을 구비해 웨이퍼 여러 장을 동시에 처리할 수 있다. 또 장비 뒤편에 웨이퍼 이송 로봇을 채용해 장비 면적을 축소했다. 이 회사는 2003년 3월 코스닥 시장에 등록했다. 2003년 5백50억원 매출에 48억원의 순이익(3월 결산 기준)을 올린 국제엘렉트릭코리아는 2004년 3·4분기까지 전년 동기보다 43.1% 증가한 5백89억원의 매출액을 기록했다. (041)559-1714