[정밀기술 진흥대회] 산자부장관상 : SKC, CMP패드 품질 제고

SKC(대표 박장석)는 폴리에스터 필름 자기기록재 합성수지 리튬이온전지 LCD용 필름 등을 만드는 화학제품 제조업체다. 이 회사는 반도체용 재료인 CMP패드(Chemical Mechanical Polishing？화학·기계적 연마 패드) 생산기술로 금상을 받았다. CMP패드는 반도체칩 생산공정 중 웨이퍼를 평탄화하는 데 필수적인 핵심 재료로 그동안 전량 수입에 의존했으며 전세계적으로 1개 회사가 제품과 생산기술을 독점해 왔다고 회사측은 설명했다. 이 제품의 개발 책임자인 이주열 팀장은 "전량 수입에 의존하던 제품의 국산화에 성공했을 뿐 아니라 품질도 높였다는 점에서 의의가 있다"며 "이번에 개발한 CMP패드 생산기술은 기존 기술에 비해 제품의 물성 편차를 50% 이상 낮췄으며 현재 사용되는 반도체 200mm용 생산라인 외에 차세대 반도체인 300mm용 생산라인에도 적용할 수 있다"고 강조했다. 이 팀장은 "이번 제품 개발로 국내 반도체 업계의 부품 해외 의존도를 낮추고 가격경쟁력을 향상시키는 등 수입 대체 효과를 얻을 것으로 기대한다"며 "향후 차세대 CMP패드시장의 신규 제품 개발에 주력하겠다"고 밝혔다. (031)250-7114