은성, 우진과 특허분쟁 이번엔 勝...특허심판원 "반도체휴지 기술 서로 달라"

반도체·LCD 공장 클린룸용 휴지(와이퍼) 특허소송에서 코너에 몰렸던 은성코퍼레이션이 우진ACT에 승부를 뒤엎을 카운터펀치를 날렸다.

이에 따라 우진의 은성에 대한 2004년 특허침해 관련 손해배상소송 제기로 촉발된 이 소송전의 최종 결과가 주목되고 있다.

9일 업계에 따르면 특허심판원은 우진이 "은성의 쿨린룸용 와이퍼는 우진의 실용신안을 침해한 것"이라며 제기한 적극적 권리범위확인 심판에서 "은성의 와이퍼 제조 기술은 우진의 실용신안과 다르다"고 최근 판결했다.

적극적 권리범위확인 심판은 특허권자가 제3자의 발명이 자신의 특허를 침해하는지를 확인하는 것으로 특허침해금지 소송과 손해배상청구 소송의 중요한 근거가 된다.

와이퍼는 반도체나 LCD 공장의 클린룸 내 장치나 기구가 오염됐을 경우 이를 닦아주는 일종의 휴지.국내 와이퍼 1위 업체인 우진은 와이퍼 가장자리에 일정한 패턴을 내 장치나 기구에 대한 스크래치를 최소화한 기술을 개발해 2000년 실용신안 등록했다.

우진은 2004년 9월 은성이 이 실용신안을 도용해 와이퍼를 생산하고 있다며 법원에 실용신안 침해 금지 소송과 손해배상 소송을 제기했다.

이에 은성은 같은 해 12월 특허심판원에 해당 실용신안에 대한 등록무효 심판 제기로 맞섰으며 우진도 2005년 적극적 권리범위확인 심판으로 맞대응했다.

은성은 지난해 말 특허법원 실용신안 등록무효 심판에서 패소해 손해배상의 위기에 몰렸으나 이번 권리범위확인 심판 승소로 오히려 유리한 고지에 오르게 됐다.

은성 관계자는 "특허등록 심판이나 권리범위확인 심판 어느 한 곳에서만 이기면 되기 때문에 최종 승소 가능성이 높은 것으로 보고 있다"고 말했다.

임도원 기자 van7691@hankyung.com