[기업과 함께] 영진아이엔디 ‥ 가스세정장비 中.대만 수출 추진

영진아이엔디(대표 배근한)는 반도체 및 LCD 제조 과정에서 발생하는 가스세정 장비를 생산하는 중소·벤처기업으로 1999년 설립됐다.

반도체나 LCD 제조 과정에서 발생하는 CFCs와 PFCs(CF₄, NF₃ 등) 가스는 지구 온난화의 주범으로 세정 과정을 거쳐 처리해야 한다.기존의 가스세정 장비는 영상 섭씨 800도에서 CFCs와 PFCs 가스를 처리,효율이 낮아 문제점으로 지적돼 왔다.

하지만 이 회사가 개발한 가스세정 장비 '하이-플라즈마 스크루버(Hi-Plasma Scrubber)'는 플라즈마를 이용해 영상 3000도 이상의 고온에서 원소 분해를 통해 유해 가스를 인체에 해롭지 않게 처리·배출하는 친환경 제품이다.

회사 관계자는 "약 2년여간의 연구개발 기간을 거쳐 2002년 개발을 완료하고 LCD패널 제조 공정 시연과 한국표준과학연구원의 테스트를 거쳐 성능을 인정받았다"며 "반도체 CVD 공정에 적용한 결과 99%의 처리 효율을 냈다"고 설명했다.그는 "반도체 및 LCD 제조 과정에서 발생하는 배기 가스를 안전하게 처리 배출함으로써 환경 오염을 방지해 줘 최근 들어 판매가 늘고 있다"고 덧붙였다.

회사 측은 특히 플라즈마 방식으로 고온에서 처리하는 기술을 적용한 제품으로는 이 제품이 세계 처음이라고 밝혔다.

열교환기(Heat Exchanger)는 반도체 및 LCD 제조 공정에서 유독 가스의 화학 반응 및 열기구에 의해 발생하는 열을 일정한 온도로 낮춰주는 장비다.이 장비는 온도의 차이를 최소화함으로써 제조 공정의 안정화를 기할 수 있게 해 준다고 회사 측은 설명했다.

이 회사는 또 반도체 칩을 때우는 소재로 은과 주석을 섞어 만든 솔더볼(Solder Ball)을 생산하고 있다.

이 회사는 올해 히트 싱크(Heat Sink)를 개발,시판했다.이 제품은 서버용 모듈 내에 내장된 AMB(Advanced Memory Buffer-interface용 메모리)나 D램에서 발생하는 열을 배출하기 위해 고열전도성 실리콘 패드인 TIM(Thermal Interface Material)을 메모리 양면에 부착해 외부 충격을 완충하고 열을 방출시켜 줘 메모리의 성능 및 용량을 개선해 주는 작용을 한다.

회사 측은 이 제품만으로 올해 30억여원의 매출을 올린다는 목표다.

이 회사는 최근 하이닉스의 반도체 후공정용으로 가스세정 장비 70대를 공급하는 등 판매가 활발해지고 있다.

회사 측은 특히 반도체 업계가 CO₂ 가스 발생으로 환경 오염을 일으키는 LNG 연료 주입식 가스세정 장비를 플라즈마 가스세정 장비로 대체하는 추세여서 매출이 확대될 것으로 전망하고 있다.

이 회사는 중국의 엘리트 프레시션 테크놀로지사,대만의 프로파운드 머티리얼 테크놀로지사와 기술 제휴를 맺고 있다.

배근한 대표는 "올 하반기부터 중국 대만 지역 수출을 본격화하는 등 수출 확대로 올해 100억원의 매출을 달성하겠다"고 말했다.

이계주 기자 leerun@hankyung.com

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[ 인터뷰 - 배근한 대표 "R&D 강화로 장비 국산화 총력" ]

"반도체 제조공정에서 발생하는 독성 가스를 완벽하게 처리하는 세계적인 기업으로 키우겠습니다."

영진아이엔디 배근한 대표는 아직까지 국산화 비율이 낮은 반도체 장비 분야의 국산화를 높이기 위한 연구개발(R&D)을 강화하겠다며 이같이 밝혔다.

그는 이를 위해 매년 매출액의 5% 이상을 연구개발에 투자하고 있다고 덧붙였다.

플라즈마 방식으로 반도체 제조공정에서 발생하는 유해 가스를 세정하는 장비를 세계 최초로 개발한 것도 배 대표의 연구개발에 대한 집념이 가져다 준 결과다.

이 회사는 올 4월에 기술혁신형 중소기업(이노비즈) 인증을 받기도 했다.

배 대표는 "가스 세정장비 분야에서 다른 기업에 앞서 신제품을 지속적으로 개발해 이 분야 기술선도 기업으로 자리 매김하겠다"고 강조했다.

이 회사는 직원과 직원 가족을 위한 프로그램을 운영한다.직원들을 대상으로 매월 1회씩 품질 관리를 위해 외부 강사를 초청해 강의를 듣거나 외부 위탁교육을 받도록 하고 있다.

배 대표는 "직원 가족들과 함께하는 야유회와 협력업체 가족까지 초청하는 송년 행사 등을 통해 화합과 협력의 모델을 만들어가고 있다"고 말했다.