[기업과 함께] 신성장 혁신센터 : 국민대 나노공정장비기술사업단

디스플레이 나노 신공정기술에 주력

국민대학교 초정밀 혁신설계 연구소 나노공정장비기술사업단(단장 임홍재)은 서울시 산학연 협력사업으로 디스플레이 산업에 사용되는 나노수준의 신공정 기술과 첨단장비 개발에 주력하고 있다.

교수 29명과 박사후 연구원 4명,석·박사 연구원 97명 등이 참여하고 있다.

특히 기업체에서 파견된 연구원도 34명이 합류해 관련 산업과의 인적·기술적 교류가 상시적으로 자연스럽게 이뤄지고 있다는 평가를 받고 있다.

사업단은 현재까지 국제 학술지에 80여건의 논문을 게재하고,국내외 학술대회에 40여건의 논문을 발표했을 정도로 활발한 활동을 보이고 있다.

'양자우물효과를 이용한 나노구조체 및 그 제조방법' 등 20여건의 특허를 등록하기도 했다.

임홍재 단장은 "국민대 ERC,광운대 ITRC,한양대 ERC,고려대 NRL 등 기반연구센터와의 협력을 통해 빠르게 공정과 장비를 개발한 다음 KISTI를 통해 이를 사업화할 방침"이라고 소개했다.

사업단은 KIMM 나노메커트로닉스사업단과 삼성전자 생산기술연구소 등 외부전문기관의 운영위원회를 통한 협력 시스템을 구축해 산·학 연결고리를 만들고 현장과 밀접한 기술을 개발하기 위해 노력하고 있다.

임 단장은 "해마다 10여회에 이르는 교육을 통해 나노공정 장비 관련 고급인력 160명가량을 양성해 배출하고 있으며 이들의 창업을 유도하고 있다"고 덧붙였다.

최근 사업단은 나노 패턴을 형성하고 이를 제어하기 쉬운 '나노 임프린트 공정'과 특정 이미지를 대량으로 생산하기 위한 '포토 리소그래피 공정'을 결합한 새로운 퓨전 나노 패턴 형성기술(나노 임프린트 리소그래피) 개발에 주력하고 있다.

또 세부 과제로 △마이크로 나노 전자시스템을 보다 작게,보다 싸게,보다 다양한 기능으로 만들기 위한 패키지 기술 △마이크로 어셈블리 및 칩 집적 기술 △패키징 검사와 신뢰성 평가기술 등을 연구하고 있다.

사업단은 성공적인 연구결과를 참여기업에 이전해 사업화할 예정이라고 밝혔다.

임 단장은 "5나노미터 수준의 주사전자현미경(SEM) 겸용 나노 리소그래피 개발이 최종 목표"라며 "공정 비용을 절감하고 양산성을 높일 수 있는 새로운 메커니즘을 도입하겠다"고 강조했다.

이상은 기자 selee@hankyung.com