고려반도체, 웨이퍼 공정 부가장치 관련 특허 취득

4일 고려반도체는 웨이퍼 절삭 장치용 척 테이블 및 제어방법 관련 특허를 취득했다고 공시했다.

한경닷컴 문정현 기자 mjh@hankyung.com