AP시스템 "기판회전요동장치 관련 특허권 취득"
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AP시스템은 1일 급속열처리용 기판회전요동장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "이번 발명은 기판이 균일하게 가열되도록 하는 급속열처리용 기판회전요동장치와 관련된 것"이라고 밝혔다.
한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com
회사 측은 "이번 발명은 기판이 균일하게 가열되도록 하는 급속열처리용 기판회전요동장치와 관련된 것"이라고 밝혔다.
한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com